有机金属化合物
专利权的终止
摘要
提供了一种用于化合物半导体制造中的组合物。还提供了使用这些组合物的化合物半导体的制造方法。
基本信息
专利标题 ：
有机金属化合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1769288A
申请号 ：
CN200510128381.2
公开（公告）日 ：
2006-05-10
申请日 ：
2005-10-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
D·V·谢奈哈特哈特E·沃尔科
申请人 ：
罗门哈斯电子材料有限公司
申请人地址 ：
美国马萨诸塞州
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
沙永生
优先权 ：
CN200510128381.2
主分类号 ：
C07F5/00
IPC分类号 ：
C07F5/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C07
有机化学
C07F
含除碳、氢、卤素、氧、氮、硫、硒或碲以外的其他元素的无环，碳环或杂环化合物
C07F5/00
含周期表第3或13族元素的化合物
法律状态
2013-12-04 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101547532332
IPC(主分类) : C07F 5/00
专利号 : ZL2005101283812
申请日 : 20051008
授权公告日 : 20090708
终止日期 : 20121008
号牌文件序号 : 101547532332
IPC(主分类) : C07F 5/00
专利号 : ZL2005101283812
申请日 : 20051008
授权公告日 : 20090708
终止日期 : 20121008
2009-07-08 ：
授权
2006-07-05 ：
实质审查的生效
2006-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
CN100509821C.PDF
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2、
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