一种基板清洗头及基板清洗装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种基板清洗头及基板清洗装置，基板清洗头包括具有一定厚度的圆盘状基座及同心连接于所述基座下表面的圆形清洁垫，所述基座沿厚度方向具有多个通道，所述清洁垫具有多个通孔，每个通孔耦合至不同的通道，不同的流体管延伸通过所述通道至所述清洁垫的通孔，使得清洗液可经由所述流体管及通孔喷射至基板表面并在与污染物结合后经由其他通孔吸走。
基本信息
专利标题 ：
一种基板清洗头及基板清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920764826.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-24
授权号 ：
CN210788334U
授权日 ：
2020-06-19
发明人 ：
蒋阳波赵德文李长坤刘远航路新春
申请人 ：
清华大学
申请人地址 ：
北京市海淀区清华园1号
代理机构 ：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司
代理人 ：
张建纲
优先权 ：
CN201920764826.3
主分类号 ：
B08B3/02
IPC分类号 ：
B08B3/02 B08B3/10 B08B5/04 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2020-06-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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