压电薄膜的极化方法
实质审查的生效
摘要
一种压电薄膜的极化方法。在此方法中，将压电薄膜平贴在导电基材的表面。进行第一除泡处理，以去除压电薄膜与导电基材的表面之间的气泡。于进行第一除泡处理后，对压电薄膜进行极化制程。在压电薄膜极化前先进行除泡处理，因此于极化压电薄膜时，可提高压电薄膜的表面的平整性，并可避免压电薄膜被击穿，还可提高压电薄膜的极化均匀性，进而可大幅提升压电薄膜的极化品质与良率。
基本信息
专利标题 ：
压电薄膜的极化方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114373859A
申请号 ：
CN202011102910.2
公开（公告）日 ：
2022-04-19
申请日 ：
2020-10-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李志勇江鸿展蔡柏帆陈安禄薛義信陈志恩
申请人 ：
馗鼎奈米科技（深圳）有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市福田区福田街道益田路3008号皇都广场B座2903
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN202011102910.2
主分类号 ：
H01L41/257
IPC分类号 ：
H01L41/257
法律状态
2022-05-06 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 41/257
申请日 : 20201015
申请日 : 20201015
2022-04-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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