微机械光纤定位器
专利权的终止
摘要
一种微机械光纤定位器,属于微机械和光学技术领域。本发明包括:定位槽和挠性夹,挠性夹设在定位槽的上方。所述的定位槽包括:单晶硅衬底和截面槽,截面槽设在单晶硅衬底上,所述的挠性夹包括:金属基座和挠性片,金属基座和挠性片设在同一平面内,金属基座和挠性片为一体化结构,金属基座和挠性片的底面均与单晶硅衬底的顶面贴合,金属基座设在单晶硅衬底表面上,金属基座与单晶硅衬底之间通过溅射金属时产生的粘附力固定,利用挠性片内部的弹性变形力将光纤固定在定位器中。本发明易于大批量制作,实现光纤与光纤、光纤与有源模块快速、可靠、精确定位。
基本信息
专利标题 :
微机械光纤定位器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1760705A
申请号 :
CN200510030975.X
公开(公告)日 :
2006-04-19
申请日 :
2005-11-03
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
戴旭涵赵小林丁桂甫蔡炳初
申请人 :
上海交通大学
申请人地址 :
200240上海市闵行区东川路800号
代理机构 :
上海交达专利事务所
代理人 :
王锡麟
优先权 :
CN200510030975.X
主分类号 :
G02B6/13
IPC分类号 :
G02B6/13 G02B6/255
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B6/00
光导;包含光导和其他光学元件的装置的结构零部件
G02B6/10
光波导式的
G02B6/12
集成光路类型
G02B6/13
以制作方法为特征的集成光路
法律状态
2012-01-04 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101166310331
IPC(主分类) : G02B 6/36
专利号 : ZL200510030975X
申请日 : 20051103
授权公告日 : 20071226
终止日期 : 20101103
号牌文件序号 : 101166310331
IPC(主分类) : G02B 6/36
专利号 : ZL200510030975X
申请日 : 20051103
授权公告日 : 20071226
终止日期 : 20101103
2007-12-26 :
授权
2006-06-07 :
实质审查的生效
2006-04-19 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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