本发明公开了一种潜艇废气的处理工艺及装置。本发明针对现有技术中存在的需要多种化学物质，处理成本高，并不能同时处理多种有害气体的缺陷，提供这样一种工艺方法及装置：将各舱室中的废气抽出，通过废气输送管并预冷后送到废气净化池里，废气净化池放置于冷阱中，冷阱与液氦或液氮压缩制冷机连成一体而使冷阱温度达到－186℃，到达废气净化池的废气中大部分有害气体如CO₂、NH₃、SO₂由于深冷作用而凝固落在池里，净化后的气体包括氧气、氮气等则沿净化气回流管升温后回到舱室中。本发明的工艺方法操作简单，不需要使用任何酸、碱、盐甚至有机物，无二次污染，废气处理成本低，效果好；本发明的设备简单，体积小、重量轻，抗冲击能力强，能耗较低。