本发明涉及微小部件机械联接或紧固方法，根据待联接或紧固部件的具体尺寸选取非晶态合金销，利用非晶态合金在过冷液相区的流变行为，使合金变形嵌入待联接或紧固部件上的卡槽中，完成部件间的联接或紧固，包括如下步骤：(1)装卡待联接或紧固部件，并开始加热；(2)在工作区内温度稳定后，将非晶态合金销移至工作区内待联接或紧固部件之间，继续加热至温度波动消失；(3)驱动待联接或紧固部件接触非晶态合金销，使非晶态合金销变形嵌入待联接或紧固部件上的卡槽中，完成部件间的联接或紧固。本发明实现MEMS系统精细部件联接与紧固，控制精度可达到亚微米级，联接强度高，联接基材范围广泛，定位时间短，接合面不需特别清理，操作简单、高效。