本发明公开了一种在硅太阳能电池表面制备复合波长变换－减反射膜的方法。在金属醇盐、乙醇和水的混合溶液中加入稀土氯化物和有机配体，经水解缩聚、陈化后的溶胶用提拉法或旋涂法在硅太阳能电池表面涂膜。本发明通过添加不同的金属氧化物可以调控薄膜的折射率。通过调整薄膜形成时的溶胶粘度、薄膜提拉或旋涂速度可以控制薄膜厚度。通过改变硅太阳能电池表面薄膜的折射率和厚度，实现减反射效果和波长转换效应。涂覆兼具减反射效果和波长转换效应的金属有机配合物掺杂无机薄膜的硅太阳能电池的光电转换效率可提高10％以上。