一种脉冲电流、蒸馏水微细电解加工工艺及装置，属微细电解加工工艺及装置，本发明在专门研制的微细电解加工装置中，采用蒸馏水作电解液，采用高频、窄脉宽脉冲电源，采用微细电解加工阴极、微位移进给和微细电解工艺参数，实施工程实用的微细电解加工。微细电解加工装置主要部分包括螺旋压套(6)、压电陶瓷微进给(7)、阳离子交换膜(8)、辅助电极(9)、螺旋微位移调整杆(11)、工具阴极(12)、下安装座(13)、夹具主体(15)、上安装座(16)。本发明由多项技术集成，其综合效果是：阳极溶解的集中蚀除能力强，加工精度和表面质量高，对加工工件、加工环境无污染，可以实现精密、清洁、绿色的微细电解加工。