一种防止被溅镀物品变形的方法，其中，该被溅镀物品包括一易变形区域及一不易变形区域，且于易变形区域外遮覆有一防护装置，且该被溅镀物品于一反应室内加以溅镀，该反应室呈中空状，惰性气体从反应室外以某一流量进入反应室内，且该反应室内的顶部固定一靶材，而该方法包括以下步骤：加速惰性气体，令其朝着靶材的方向撞击；当惰性气体撞击靶材表面后，并伴随产生靶材原子及二次电子；靶材原子接触被溅镀物品的表面后便形成一镀膜层；二次电子接触被溅物品的不易变形区域及防护装置的表面后发生热效应，仅有少量二次电子穿过防护装置并到达被溅镀物品的易变形区域。如此便可减少二次电子对易变形区域的热效应作用，从而防止被溅镀物品的变形。