一种超临界二氧化碳清洗系统，包含：一密闭高压清洗槽，形状为上宽下窄的漏斗型容器装置，提供一可乘载待清洗物件的载体平台及可活动喷嘴组的空间；一载体平台，位于该密闭高压清洗槽内，为一以该待洗物中心旋转的载体平台，并用以承载该待清洗物件；一可活动喷嘴组，组设于该密闭高压清洗槽内及载体平台的上方，使该超临界二氧化碳可经由该可活动喷嘴组来清洗该待清洗物件。一种超临界二氧化碳清洗方法，包含：将晶圆或待洗物置于密闭高压清洗槽；将液态二氧化碳输入该密闭高压清洗槽；添加共溶剂与界面活性剂于清洗槽；启动可活动喷嘴组，增进洗净功效；旋转晶圆或待洗物去除污染物；降压排放二氧化碳与污染物以洗净晶圆或待洗物。