缓解高速研磨机压头冲击的装置和方法属于精密和超精密机械加工技术领域。现有技术采用气动装置控制压头先快后慢地压向工件，其缺点在于装置复杂，需要根据工件高度调整设置，另外，这种技术并没有明显解决压头的冲击。本发明在压头轴心处开一通孔，通入压缩空气，排气口位于压头端点，当压头接近压盖中心的球座时，排气口排出的压缩空气在压头头部和球座之间形成气垫。正是此气垫的作用大为缓解压头对工件上面的压盖的冲击，装置简单，效果明显。本发明可应用于高速研磨机上，在研磨加工的开始阶段实施这一方法。