连续式热处理炉以及热处理方法

专利权的终止

摘要

本发明的连续式热处理炉是从炉的入口侧朝向出口侧依次设置有进行被热处理物的干燥以及/或者脱粘接剂处理的至少一个干燥·脱粘接剂区域，和进行被热处理物的烧结的烧结区域，在所述被热处理物一边在所述干燥·脱粘接剂区域被搬送一边进行干燥以及/或者脱粘接剂处理后，在所述烧结区域一边搬送一边烧结的热处理炉，所采用的结构为，作为用于搬送所述被热处理物的搬送机构，有沿所述被热处理物的搬送方向配置的至少2个搬送机构，在所述干燥·脱粘接剂区域和所述烧结区域，利用不同的所述搬送机构搬送所述被热处理物，同时，设定所述各搬送机构的搬送速度使得在所述干燥·脱粘接剂区域中的搬送速度和在所述烧结区域的搬送速度为不同的搬送速度。

基本信息

专利标题：

连续式热处理炉以及热处理方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1758418A

申请号：

CN200510107892.6

公开（公告）日：

2006-04-12

申请日：

2005-09-29

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

新井诚梶浦靖博近藤良夫

申请人：

日本碍子株式会社

申请人地址：

日本爱知

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司

代理人：

张敬强

优先权：

CN200510107892.6

主分类号：

H01L21/00

IPC分类号：

H01L21/00 H01L21/68 H01L31/18 F27B9/24 B65G49/07