具有罗茨转子和螺旋转子的组合干式真空泵
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摘要
本发明公开了一种用于将半导体或显示器制造装置中的加工室抽真空、或用于抽出加工室中产生的气体物质和/或副产品的干式真空泵。该干式真空泵不需要罗茨转子和螺旋转子之间的隔板。在该干式真空泵中，空间形成于罗茨转子和螺旋转子的下侧之中连接到罗茨转子的部分上，以保持目标物质在其中。
基本信息
专利标题 ：
具有罗茨转子和螺旋转子的组合干式真空泵
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1755120A
申请号 ：
CN200510108223.0
公开（公告）日 ：
2006-04-05
申请日 ：
2005-10-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
林文基
申请人 ：
LOTVacuum株式会社
申请人地址 ：
韩国忠清南道
代理机构 ：
北京润平知识产权代理有限公司
代理人 ：
周建秋
优先权 ：
CN200510108223.0
主分类号 ：
F04C25/02
IPC分类号 ：
F04C25/02 F04C23/00
相关图片
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04C
旋转活塞或摆动活塞的液体变容式机械
F04C
旋转活塞或摆动活塞的液体变容式机械
F04C25/00
适于特殊用途的弹性流体泵
F04C25/02
用于产生高真空
法律状态
2009-03-04 ：
授权
2007-12-05 ：
实质审查的生效
2006-04-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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