液态化学品的加热方法和装置
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明公开了一种液态化学品的加热方法，所述液态化学品需要通过加热以降低粘度来进行传输，所述加热方法通过液体传热介质对所述液态化学品进行加热。本发明还提供了一种液态化学品的加热装置，包括：加热器，用于加热液体传热介质；换热器，用于将所述液体传热介质的热量传递至所述液态化学品；所述液态化学品需要通过加热以降低粘度来进行传输。本发明尤其适用于常温下粘度大，而随着温度升高粘度迅速下降的液态化学品，例如铜腐蚀液ST250。本发明可以满足大流量加热的需求；可以实现精确加热，避免液态化学品温度超出范围，从而提高液态化学品的使用寿命；避免电加热器件直接接触易燃易爆的溶剂类化学品，从而大大提高加热过程的安全性。
基本信息
专利标题 ：
液态化学品的加热方法和装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1987285A
申请号 ：
CN200510111677.3
公开（公告）日 ：
2007-06-27
申请日 ：
2005-12-19
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
叶大军李汉忠
申请人 ：
中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请人地址 ：
201203上海市浦东新区张江路18号
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
逯长明
优先权 ：
CN200510111677.3
主分类号 ：
F24H1/14
IPC分类号 ：
F24H1/14 F17D1/18
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F24
供热；炉灶；通风
F24H
一般有热发生装置的流体加热器，例如水或空气的加热器
F24H
一般有热发生装置的流体加热器，例如水或空气的加热器
F24H1/00
有热发生装置的水加热器，例如锅炉、流动加热器、贮水加热器
F24H1/10
连续流动加热器，即仅在水流动时产生热的加热器，例如水与加热介质直接接触的
F24H1/12
其中水和加热介质是彼此分开的
F24H1/14
用管子分开的，例如弯成蛇形的
法律状态
2009-09-09 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-08-22 ：
实质审查的生效
2007-06-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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