一种有机发光器件金属阳极的处理方法，涉及电子显示器件技术领域；该处理方法的特征在于，将金属阳极的基板在含有氧成分的等离子中进行金属的表面氧化处理，即将基板放入充有含氧混合气体的、设有射频电场的等离子处理腔中进行表面氧化处理，使金属阳极表面产生一薄层氧化物，从而提高金属表面的功函数，增加空穴注入能力。所述金属可以是银或镍。本发明能方便得把金属阳极转变成为一个性能优异的有机发光器件的阳极，使表面设有薄层金属的氧化物的金属阳极材料的功函数能达到5电子伏特以上，使它具有很高的空穴注入性能，提高有机发光器件的亮度与效率，而且处理的方法简单，与目前的有机发光器件的制造设备兼容。