溶剂的回收装置及溶剂的回收方法
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摘要
提供一种溶剂的回收装置及溶剂的回收方法，即使不补充电子级的溶剂，也可从抗蚀剂剥离工序所排出的废液中，回收高浓度的溶剂。一种溶剂的回收装置(1)，是从抗蚀剂剥离工序所排出的废液(L)中回收溶剂的装置，包括：一树脂成分除去装置(10)，除去包含于上述废液中的树脂成分；一第一蒸馏塔(20)，除去包含于废液(L)中的低沸点杂质；一第二蒸馏塔(30)，除去包含于废液(L)中的高沸点杂质；以及一溶剂储存槽(51)，对上述第一蒸馏塔(20)及上述第二蒸馏塔(30)中的一方或双方补充工业级溶剂(L7)。
基本信息
专利标题 ：
溶剂的回收装置及溶剂的回收方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1939567A
申请号 ：
CN200510112905.9
公开（公告）日 ：
2007-04-04
申请日 ：
2005-10-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
川濑泰人青岛芳之山内阳一水野直宏小田昭昌五十岚轨雄增田义登
申请人 ：
日本瑞环株式会社;松下环境空调工程技术株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京林达刘知识产权代理事务所
代理人 ：
刘新宇
优先权 ：
CN200510112905.9
主分类号 ：
B01D3/00
IPC分类号 ：
B01D3/00 G03F7/42
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D3/00
蒸馏或相关的在液体同气体介质相接触的过程中发生交换的方法，例如汽提
法律状态
2009-03-25 ：
授权
2007-05-30 ：
实质审查的生效
2007-04-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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2、
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