静电电容检测装置
授权
摘要
提供一种能够实现耐静电破坏性高的静电电容检测装置，在读取对象物的表面形状的静电电容检测装置中，含有：配置成M行N列的静电电容检测元件(1)；和分别给该静电电容检测元件(1)提供电源的电源线。该静电电容检测元件(1)含有：信号检测元件(4)，其蓄积与该静电电容相应的电荷；信号放大元件(T1)，其将该信号检测元件(4)蓄积的电荷对应的信号进行放大。该信号检测元件(T1)含有：电容检测电极(41)；和在该电容检测电极(41)与该对象物接触的一侧设置的电容检测电介质膜(42)。尤其，电容检测电介质膜(42)含有绝缘膜(160)和半导体膜(162)。
基本信息
专利标题 ：
静电电容检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1760631A
申请号 ：
CN200510113702.1
公开（公告）日 ：
2006-04-19
申请日 ：
2005-10-12
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
宫坂光敏
申请人 ：
精工爱普生株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
李香兰
优先权 ：
CN200510113702.1
主分类号 ：
G01B7/28
IPC分类号 ：
G01B7/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B7/00
以采用电或磁的方法为特征的计量设备
G01B7/28
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2008-08-13 ：
授权
2006-06-07 ：
实质审查的生效
2006-04-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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