等离子装置和通过其制造光纤预制件的装置
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
公开了一种等离子装置。所述等离子装置包括具有用于在其中容纳前体气体和氧气的中空部分的内电极，在其中容纳内电极的外电极同时在其间形成间隙，其方式是惰性气体和氧气被引入到所述间隙中。等离子装置也包括用于将DC电压或者射频(RF)AC电压施加到内、外电极上的电源以在内外电极之间产生等离子。
基本信息
专利标题 ：
等离子装置和通过其制造光纤预制件的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1832656A
申请号 ：
CN200510118728.5
公开（公告）日 ：
2006-09-13
申请日 ：
2005-10-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
朴世镐金镇杏金镇汉都文显
申请人 ：
三星电子株式会社
申请人地址 ：
韩国京畿道
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
王新华
优先权 ：
CN200510118728.5
主分类号 ：
H05H1/46
IPC分类号 ：
H05H1/46 H05H1/24 C23C14/00
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法律状态
2008-09-03 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2006-11-08 ：
实质审查的生效
2006-09-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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