本发明公开了一种用于以氯乙烷化合物制备五氟乙烷的氧化铬催化剂的制备方法，包括：在不高于300℃的温度下热处理氢氧化铬粉末以获得氧化铬粉末，在不高于300℃的温度下热处理选自氢氧化镁、氢氧化铁、氢氧化钼、氢氧化钒和氢氧化铝的金属氢氧化物以获得选自氧化镁、氧化铁、氧化钼、氧化钒和氧化铝金属氧化物粉末，将85～99.5重量％的氧化铬粉末与0.5～15重量％的金属氧化物粉末混合得到混合物，使混合物成颗粒，将颗粒在200～300℃下用氮气煅烧，以及将颗粒在300～320℃下用包括N₂和HF的混合气体煅烧，然后在320～380℃用HF气体煅烧。利用本发明的方法制备的氟化催化剂可有效地用于以氯乙烷化合物作为原料制备HFC－125并得到高产率。