本发明公开了一种测试金属薄膜室温压入蠕变性能的方法，采用纳米压痕仪在金属薄膜上通过控制应变率和压入深度，保载后得到位移－载荷曲线，转化为应力－应变率曲线，从而测得表征蠕变性能的应力指数，评价金属薄膜的使用稳定性。这种纳米压痕装置一方面可以精确地测量薄膜的力学性能，其载荷和位移精度分别可达到1nN和0.1nm，另一方面由于这种装置可以连续地施加应力，可以快速、有效地得到载荷－位移曲线，对试样本身无破坏性，可进行无损检测。然后通过计算得到真实应力－应变率曲线。