粒子检测方法以及储存用以实施该方法的程序的存储介质

专利权的终止

摘要

本发明涉及一种能够精确地检测低速粒子数量的粒子检测方法，以及一种储存用以实施该方法的程序的存储介质。使用光接收感测器以预定时间间隔测量当发射入气流的光被粒子散射时所产生的散射光的强度。将用以测量散射光强度的测量周期分成每个定义为一预定周期的测量周期，并且在每个测量周期中选择一可测量所测量的散射光强度最大值的测量时间点。根据在每个测量周期选择的所测量的时间点对已自光接收感测器前方通过的粒子数量进行计数。

基本信息

专利标题：

粒子检测方法以及储存用以实施该方法的程序的存储介质

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1789971A

申请号：

CN200510125855.8

公开（公告）日：

2006-06-21

申请日：

2005-11-30

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

齐藤进矶崎久柿沼隆司西冈范刚野田启

申请人：

东京毅力科创株式会社;株式会社拓普康

申请人地址：

日本东京

代理机构：

北京中原华和知识产权代理有限责任公司

代理人：

寿宁

优先权：

CN200510125855.8

主分类号：

G01N15/06

IPC分类号：

G01N15/06 G01N15/02 G01N21/49 H01L21/3065

IPC结构图谱

G部——物理

G01

测量；测试

G01N

借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料

G01N15/00

测试颗粒的特性；测试多孔材料的渗透性，孔隙体积或者孔隙表面积

G01N15/06

测试悬浮颗粒的浓度

法律状态

2015-01-14 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101595904286
IPC(主分类) : G01N 15/06
专利号 : ZL2005101258558
申请日 : 20051130
授权公告日 : 20100512
终止日期 : 20131130

2013-02-20 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101515600745
IPC(主分类) : G01N 15/06
专利号 : ZL2005101258558
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 东京毅力科创株式会社
变更后权利人 : 东京毅力科创株式会社
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 日本东京
变更后权利人 : 日本东京都港区赤坂5丁目3番1号
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 株式会社拓普康
变更后权利人 : 无
登记生效日 : 20130115

2010-05-12 ：

授权

2006-08-16 ：

实质审查的生效

2006-06-21 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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