等离子体反应室温控系统在线故障检测装置及其方法
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本发明涉及晶片加工反应室的温度控制装置。本发明公开的等离子体反应室温控系统在线故障检测装置及其方法，包括：反应室、抽气腔及其对应的控制回路、每个控制回路有若干个加热器；在每个控制回路中还设有至少两个温度传感器，其中，温度传感器布置在偏离加热器对角线的位置。方法：1)当某个控制回路中的加热器损坏时，该控制回路的两个传感器反馈回来的温度值分别为t1和t2；2)计算t1和t2的差值的绝对值；3)当t1和t2的差值的绝对值大于一个阈值时，判定该控制回路的一个加热器损坏。
基本信息
专利标题 ：
等离子体反应室温控系统在线故障检测装置及其方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1851848A
申请号 ：
CN200510126268.0
公开（公告）日 ：
2006-10-25
申请日 ：
2005-12-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
孙岩
申请人 ：
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请人地址 ：
100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号
代理机构 ：
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 ：
练光东
优先权 ：
CN200510126268.0
主分类号 ：
H01L21/00
IPC分类号 ：
H01L21/00 C23F4/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
法律状态
2018-08-17 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 21/00
变更事项 : 专利权人
变更前 : 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
变更后 : 北京北方华创微电子装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
变更后 : 100176 北京经济技术开发区文昌大道8号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
变更后 : 北京北方华创微电子装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
变更后 : 100176 北京经济技术开发区文昌大道8号
2008-08-20 ：
授权
2006-12-20 ：
实质审查的生效
2006-10-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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