电动提升机构

发明专利申请公布后的驳回

摘要

本发明涉及半导体刻蚀设备中的电动提升机构。本发明电动提升机构包括竖直的导轨丝杆、与导轨丝杆配合的滑块以及电机，其中导轨丝杆上设有用于连接待移动部件的连接件，导轨丝杆的下端部设有联轴器，联轴器的中轴端安装有大传动轮，所述电机的输出轴上装有小传动轮，大传动轮和小传动轮之间设有传动带。本发明的电动提升机构的优点和积极效果在于：本发明包括导轨丝杆、滑块、电机，可以实现自动控制，使用方便、效率高，且负载范围大；而且，还可以通过调节电机的转速控制滑块的运动速度。

基本信息

专利标题：

电动提升机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1850579A

申请号：

CN200510126374.9

公开（公告）日：

2006-10-25

申请日：

2005-12-08

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

姚立强

申请人：

北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

申请人地址：

100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司

代理人：

蔡世英

优先权：

CN200510126374.9

主分类号：

B66F11/00

IPC分类号：

B66F11/00