多螺线管等离子体源
发明专利申请公布后的驳回
摘要
本发明涉及微电子技术，本发明多螺线管等离子体源包括若干多螺线管状。分为内组线圈和外组线圈两组内、外组串联或并联连接在一起。内组线圈和外组线圈各自由若干个多螺线管组成。本发明的多螺线管等离子体源的优点和积极效果在于：本发明使得电磁场在反应腔室内部的分布很对称，从而改善了等离子体在反应腔室内部的分布均匀性，使得在晶片表面上各点的刻蚀速率更加接近。即使随着晶片尺寸的增大，本发明的技术方案也能很好地控制从晶片中央到边缘的刻蚀速率和均匀性。
基本信息
专利标题 ：
多螺线管等离子体源
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1852631A
申请号 ：
CN200510126397.X
公开（公告）日 ：
2006-10-25
申请日 ：
2005-12-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
宋巧丽李东三
申请人 ：
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请人地址 ：
100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号
代理机构 ：
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 ：
蔡世英
优先权 ：
CN200510126397.X
主分类号 ：
H05H1/46
IPC分类号 ：
H05H1/46 H01J37/32
法律状态
2009-08-26 ：
发明专利申请公布后的驳回
2006-12-20 ：
实质审查的生效
2006-10-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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