本发明涉及微电子技术领域中。本发明晶片举升装置包括升降轭和固定在升降轭上的若干根顶针，其中升降轭上设有与大地电连接的放电电路，该电路上设有电荷检测装置。晶片举升装置的优点和积极效果在于：其可以检测出晶片上的电荷是否释放完全，因此可保证对晶片进行举升时，晶片是完全不带电了，避免了因此而损坏晶片，提高了工作可靠性；同时还可以在放电完全时立刻进行举升动作，提高了生产效率。本发明的晶片举升方法，采取分步举升晶片的方式：第一步上升一微小高度，顶针对晶片进行充分放电；第二步将晶片升至取回高度。在此过程中可以保证晶片放电完全，且电动动作缓和，不会对晶片造成误撞击而损坏。