一种半导体设备中的工艺过程的异常监测方法
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本发明涉及半导体刻蚀领域，本发明提供了一种半导体设备中的工艺过程的异常监测方法，本发明的方法通过对工艺过程中异常状态的区别和对其发生频率的监测，避免了对异常信号的误判和误发告警信号，从而有效地提高半导体制造设备的设备可用时间，产出率和良品率。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体设备中的工艺过程的异常监测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1848395A
申请号 ：
CN200510126448.9
公开（公告）日 ：
2006-10-18
申请日 ：
2005-12-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张秀川
申请人 ：
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请人地址 ：
100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号
代理机构 ：
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 ：
王常风
优先权 ：
CN200510126448.9
主分类号 ：
H01L21/66
IPC分类号 ：
H01L21/66 G05B19/04 G05B19/048
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/66
在制造或处理过程中的测试或测量
法律状态
2018-08-17 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 21/66
变更事项 : 专利权人
变更前 : 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
变更后 : 北京北方华创微电子装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
变更后 : 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
变更后 : 北京北方华创微电子装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
变更后 : 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
2008-03-05 ：
授权
2006-12-13 ：
实质审查的生效
2006-10-18 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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