使用悬臂结构的毫微数据写入和读取设备及其制造方法
专利权的终止
摘要

一种使用悬臂结构的毫微数据写入和读取设备,包括通过构图在牺牲衬底上淀积的淀积材料而形成的悬臂,形成在悬臂的一个表面的前端部分并与悬臂同时形成的探针,当淀积材料被淀积在牺牲衬底上时,在牺牲衬底上形成的探针沟槽图形中填充该淀积材料,在悬臂处由多晶硅形成、用于加热探针的加热器,在悬臂处形成并感测介质上写入的数据的数据传感单元,连接到数据传感单元以及形成在悬臂处以提供与外部信号线的电连接的信号连接焊盘,连接到信号连接焊盘的信号传送电路单元,用于控制在介质上和从介质写入和读取数据,以及允许悬臂被支撑在信号传送电路单元处并提供用于信号连接焊盘和信号传送电路单元之间的电连接通道的键合单元。

基本信息
专利标题 :
使用悬臂结构的毫微数据写入和读取设备及其制造方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1967687A
申请号 :
CN200510126709.7
公开(公告)日 :
2007-05-23
申请日 :
2005-11-17
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
金瑛植南孝镇
申请人 :
LG电子株式会社
申请人地址 :
韩国首尔
代理机构 :
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人 :
樊卫民
优先权 :
CN200510126709.7
主分类号 :
G11B11/00
IPC分类号 :
G11B11/00  G11B11/26  G12B21/00  G01N13/10  G01B21/30  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G11
信息存储
G11B
基于记录载体和换能器之间的相对运动而实现的信息存储
G11B11/00
利用列入G11B3/00至G11B7/00的不同大组的或列入大组G11B9/00的不同小组的方法或装置在同一记录载体上进行记录或重现的;为此所用的记录载体
法律状态
2013-01-16 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101381917843
IPC(主分类) : G11B 11/00
专利号 : ZL2005101267097
申请日 : 20051117
授权公告日 : 20110126
终止日期 : 20111117
2011-01-26 :
授权
2007-07-18 :
实质审查的生效
2007-05-23 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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