本发明涉及一种流速测量装置，包括：形成于主体表面上并与测量流体的上游相通的入口；从所述入口延伸到主体中的导入通道；由导入通道分出来的分支通道，该分支通道在其终端与开口于主体表面上的第一排气口连接；从导入通道延伸出的排气通道，该排气通道在其终端与开口于主体表面上的第二排气口连接；以及设置于分支通道或测量通道中的传感器元件，该测量通道进一步从分支通道分出来并在该分支通道的终端与开口于主体表面上的第三排气口连接，并且排气通道、导入通道、分支通道和测量通道中至少任何一个包括沿如下方向与其它流动通道重叠的部分，该方向是相对于所述导入通道的流动方向以及在分支点处所述分支通道的流动方向成直角的方向。