非均匀磁场平行束透镜系统

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摘要

本发明公开了一种非均匀磁场平行束透镜系统，该系统包括侧磁轭、真空盒、上磁轭、上磁极、上线包、下线包、冷却板、下磁轭、下磁极、磁钳。其中上磁轭和下磁轭之间螺钉连接有上磁极和下磁极；上磁极和下磁极之间的距离为非线性；上磁极和下磁极之间放置真空盒；上磁极外侧螺钉连接上线包；下磁极外侧螺钉连接下线包；上线包、下线包串联使用；上线包、下线包中间都有用于冷却线包的冷却板；上线包、下线包外侧，上磁轭和下磁轭之间螺钉连接有侧磁轭，侧磁轭与上磁轭、下磁轭构成磁场回路；磁钳螺钉连接在上磁轭和下磁轭外侧，位于离子束入射面和出射面，由四块构成，能有效地减小的磁铁的边缘磁场效应。

基本信息

专利标题：

非均匀磁场平行束透镜系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1979750A

申请号：

CN200510127733.2

公开（公告）日：

2007-06-13

申请日：

2005-12-05

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

唐景庭伍三忠郭健辉彭立波王迪平孙勇许波涛易文杰姚志丹孙雪平谢均宇

申请人：

北京中科信电子装备有限公司

申请人地址：

100036北京市海淀区复兴路乙20号汇通商务楼北门44号办公楼2层东段

代理机构：

北京中海智圣知识产权代理有限公司

代理人：

曾永珠

优先权：

CN200510127733.2

主分类号：

H01J37/14

IPC分类号：

H01J37/14 H01J37/317 H01L21/265