液滴喷出装置及喷出方法、电光学装置及其制造方法

专利申请权、专利权的转移

摘要

提供液滴喷出装置、液滴喷出方法、电光学装置的制造方法、和电光学装置及电子仪器，即使是大型工件，液滴喷出装置也能够对工件容易喷出液滴，能够提高工件的生产效率。本发明的液滴喷出装置(10)，从喷头(120)的喷嘴向工件(W)喷出液体，具备：工作台(20)，其用于搭载工件(W)；第(1)移动部(41)，其可以将工作台(20)向第(1)方向(X)和与第(1)方向(X)大致正交的第(2)方向(Y)移动；多个承载器(50)，其具备喷头(120)；和第(2)移动部(42)，其可以将各承载器(50)沿着第(2)方向(Y)方向相互移动并定位。

基本信息

专利标题：

液滴喷出装置及喷出方法、电光学装置及其制造方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1785673A

申请号：

CN200510128979.1

公开（公告）日：

2006-06-14

申请日：

2005-12-02

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

安永植村山嘉明

申请人：

精工爱普生株式会社

申请人地址：

日本东京

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

李香兰

优先权：

CN200510128979.1

主分类号：

B41J2/01

IPC分类号：

B41J2/01 B41J11/00 B41J13/00 B41J2/135 B41J29/38 G02F1/1333