流量测量装置及其制造方法
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摘要
本发明提出一种测量装置，其用以测量一流体的流量，该测量装置包括一基座、一流道以及至少两个电子电路，其中该流道设于该基座上，该流体在该流道中流动，该流道具有至少两个截面；以及所述至少两个电子电路分别与所述至少两个截面电性连接，所述至少两个电子电路检测对应的所述至少两个截而的信号变化，再根据所检测的信号变化来计算该流体的该流量。这种测量装置利用一微电子机械系统制程制备。
基本信息
专利标题 ：
流量测量装置及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1982854A
申请号 ：
CN200510129617.4
公开（公告）日 ：
2007-06-20
申请日 ：
2005-12-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
苏峻民庄汉声何宜霖
申请人 ：
财团法人工业技术研究院
申请人地址 ：
中国台湾新竹县
代理机构 ：
隆天国际知识产权代理有限公司
代理人 ：
王玉双
优先权 ：
CN200510129617.4
主分类号 ：
G01F1/56
IPC分类号 ：
G01F1/56 G01F1/64
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01F
容积、流量、质量流量或液位的测量；按容积进行测量
G01F1/00
测量连续通过仪表的流体或流动固体材料的流量或质量流量
G01F1/56
应用电或磁效应
法律状态
2008-12-03 ：
授权
2007-08-15 ：
实质审查的生效
2007-06-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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