双位相复合超分辨光瞳滤波方法与装置

专利权的终止

摘要

本发明公开了一种双位相复合超分辨光瞳滤波方法，包括将直写光束分成相互正交的第一光束和第二光束；对第一光束进行位相调制；对第二光束进行位相调制；位相调制通过第二位相调制板实现，所述第一、第二位相调制板的结构由其归一化位相分布函数确定；使所述第一光束和第二光束通过聚焦物镜会聚；使所述第一光束和第二光束聚焦于同一焦平面上的步骤；本发明的有益效果在于，不需要制作透过率调制板就可以实现透过率调制，避免了光束遮挡、光束整形、透过率渐变掩模板调制过程中生成杂散光的问题；、避免光束整形过程中，破坏光束准直性和能量均匀性；实现透过率调制的同时，还保留有位相设计自由度，因而可以独立实现振幅型超分辨、位相型超分辨及复振幅型超分辨，具有设计灵活的优点。本发明的还提供一种实现上述双位相复合超分辨光瞳

基本信息

专利标题：

双位相复合超分辨光瞳滤波方法与装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1786776A

申请号：

CN200510130464.5

公开（公告）日：

2006-06-14

申请日：

2005-12-09

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

谭久彬刘俭金鹏赵晨光

申请人：

哈尔滨工业大学

申请人地址：

150080黑龙江省哈尔滨市一匡街2号

代理机构：

北京英特普罗知识产权代理有限公司

代理人：

齐永红

优先权：

CN200510130464.5

主分类号：

G02F1/01

IPC分类号：

G02F1/01 G02B27/28

IPC结构图谱

G部——物理

G02

光学

G02F

用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如转换、选通、调制或解调，上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的；用于上述操作的技术或工艺；变频；非线性光学；光学逻辑元件；光学模拟/数字转换器

G02F1/00

控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如，转换、选通或调制；非线性光学

G02F1/01

对强度、相位、偏振或颜色的控制

法律状态

2020-11-17 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G02F 1/01
申请日 : 20051209
授权公告日 : 20090624
终止日期 : 20191209

2019-06-11 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移IPC(主分类) : G02F 1/01
登记生效日 : 20190522
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 哈尔滨工业大学
变更后权利人 : 哈工大机器人集团股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 150080 黑龙江省哈尔滨市一匡街2号
变更后权利人 : 150000 黑龙江省哈尔滨市经开区哈平路集中区大连北路与兴凯路交口处

2009-06-24 ：

授权

2006-08-09 ：

实质审查的生效

2006-06-14 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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2、

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