显示面板的制造方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要

本发明的课题是通过消除检查精度偏差,提高检查作业速度,实现显示面板的生产性的提高。作为解决手段,具有:前处理工序(S1),在基板上的显示区域内指定自发光元件的配置,同时在显示区域以外的区域内形成基准标记;成膜工序(S2),通过成膜用掩模的开口图形对发光材料进行成膜,在显示区域内对自发光元件的构成要素进行成膜,同时在显示区域以外对各成膜的位置检测标记进行成膜;位置检测工序(S3),把可见光照射到基准标记上,并把UV光照射到位置检测标记上,通过对拍摄基准标记和位置检测标记而获得的图像数据进行图像处理,检测位置检测标记相对于基准标记的位置;以及检查工序(S4),根据由位置检测工序(S3)所检测出的位置检测标记相对于基准标记的位置,判定构成要素的成膜状态相对于自发光元件的配置的好坏。

基本信息
专利标题 :
显示面板的制造方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1815687A
申请号 :
CN200510135071.3
公开(公告)日 :
2006-08-09
申请日 :
2005-12-23
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
高桥贤一矢口大辅
申请人 :
日本东北先锋公司
申请人地址 :
日本山形县
代理机构 :
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 :
黄纶伟
优先权 :
CN200510135071.3
主分类号 :
H01L21/00
IPC分类号 :
H01L21/00  H01L21/66  H01L33/00  H01L51/56  H05B33/10  
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
法律状态
2008-10-22 :
发明专利申请公布后的视为撤回
2006-08-09 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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