本发明公开了一种硫酸厂废气的处理工艺及装置。本发明针对现有技术中存在的需要消耗大量的酸碱等化学原料，处理成本高，并且伴随产生低值废弃物的二次污染等问题，提供这样一种工艺方法及装置：从硫酸厂出来的未经处理的废气，经过串连于废气输入管上的三级热交换器的逆向热交换而预冷后到达了净化池中，净化池置于一个冷阱中，而冷阱与液氮压缩制冷机相连通，使净化池温度可达到－180℃，到达净化池的毒害气体如SO₂由于深冷作用而凝固落在池里，从而达到净化废气的目的。本发明的工艺方法不需依赖酸碱等原料，能降低处理成本且不产生二次污染，处理步骤相对简单；本发明的设备占地小，操作简便，设备全封闭，安全性强，基本满足毒害气体零排放的高标准。