交变配置的光学检测

专利权的终止

摘要

用于检测样例的成像系统包括以脉冲式光辐射来辐射样例表面的照射模块。平移至少样例和一部分成像系统中的一个以致通过表面上的脉冲式光辐射来扫描辐射区域来达到通过脉冲发光的各自的连续脉冲来辐射连续的、部分重叠的帧的目的的机械扫描器。收集散射自表面的光辐射以致捕获辐射帧的图像序列的收集模块。与脉冲式光辐射同步的至少在第一和第二不同光学配置之间的交替中改变成像系统的配置的系统控制器。

基本信息

专利标题：

交变配置的光学检测

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1800837A

申请号：

CN200510138027.8

公开（公告）日：

2006-07-12

申请日：

2005-09-27

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

A·盖塔D·柯恩古特D·肖姆I·平卡斯R·埃纳特

申请人：

应用材料以色列公司

申请人地址：

以色列瑞哈佛特市

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

钱慰民

优先权：

CN200510138027.8

主分类号：

G01N21/956

IPC分类号：

G01N21/956 G01N21/47