生产氟气的方法
专利权的终止
摘要
本发明涉及一种生产氟气的方法，包括步骤(1)使用具有透气性的结构体将配有加热装置的氟气发生容器的内部分区，然后在每个区域中装入高价金属氟化物并将该高价金属氟化物加热，由此生成氟气。该方法可以包括步骤(2)使已在步骤(1)中由其生成氟气的高价金属氟化物吸留氟气。根据本发明的方法，可以廉价地大规模生产可用作半导体或液晶制造工艺中的蚀刻气体或清洁气体的高纯氟气。
基本信息
专利标题 ：
生产氟气的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101027248A
申请号 ：
CN200580032294.5
公开（公告）日 ：
2007-08-29
申请日 ：
2005-09-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
冈正和福世知行鸟巢纯一
申请人 ：
昭和电工株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京市中咨律师事务所
代理人 ：
刘金辉
优先权 ：
CN200580032294.5
主分类号 ：
C01B7/20
IPC分类号 ：
C01B7/20 B01J19/24
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B7/00
卤素；氢卤酸
C01B7/19
氟；氟化氢
C01B7/20
氟
法律状态
2015-11-04 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101632288967
IPC(主分类) : C01B 7/20
专利号 : ZL2005800322945
申请日 : 20050922
授权公告日 : 20100616
终止日期 : 20140922
号牌文件序号 : 101632288967
IPC(主分类) : C01B 7/20
专利号 : ZL2005800322945
申请日 : 20050922
授权公告日 : 20100616
终止日期 : 20140922
2010-06-16 ：
授权
2007-10-24 ：
实质审查的生效
2007-08-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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