一种MEM设备，具有可移动元件(30)，一对使可移动元件移动的电极(e1，e2)，一个具有与各电极的其余部分连接的独立可移动部分的电极(e3)，以便对电极的牵引提供附加的阻力。这样可具有更高的释放电压V_rel，从而减小静态阻力的风险。此外，可减小V_PI与V_rel的比值，从而可将更大范围的电压用于使可移动元件移动。这样就能够进行更快的切换。独立可移动部分的面积小于电极的其余部分，并且弹性连接器的弹簧常数大于柔性支撑体的弹簧常数。作为选择，可移动元件可具有弹性连接且朝向基片突起的可移动标记部分，以便当接触基片时为牵引提供附加的阻力。