控制气化有机材料的涂覆
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摘要
用于控制气化有机材料沉积在基片表面的方法，包括提供加热装置以产生气化有机材料；提供具有至少一个孔的歧管，气化有机材料穿过该孔，在所述基片表面沉积；提供控制器，其独立于所述加热装置运行，并在第一条件有效，用于限制气化有机材料穿过所述孔的通过，以及在第二条件有效，用于促进气化有机材料穿过所述孔的通过；且其中所述加热装置，或所述控制器，或两者都邻近于所述歧管。
基本信息
专利标题 ：
控制气化有机材料的涂覆
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101052738A
申请号 ：
CN200580037923.3
公开（公告）日 ：
2007-10-10
申请日 ：
2005-10-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
J·M·格雷斯M·龙M·L·博罗森J·张B·E·科普T·W·帕洛恩N·P·雷登
申请人 ：
伊斯曼柯达公司
申请人地址 ：
美国纽约州
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
丁建春
优先权 ：
CN200580037923.3
主分类号 ：
C23C14/12
IPC分类号 ：
C23C14/12 C23C14/24 H01L51/40 H05B33/10
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
C23C14/12
有机材料
法律状态
2011-04-27 ：
授权
2010-06-02 ：
专利申请权、专利权的转移
专利申请权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101002464904
IPC(主分类) : C23C 14/12
专利申请号 : 2005800379233
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 伊斯曼柯达公司
变更后权利人 : 全球OLED科技有限责任公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国纽约州
变更后权利人 : 美国特拉华州
登记生效日 : 20100421
号牌文件序号 : 101002464904
IPC(主分类) : C23C 14/12
专利申请号 : 2005800379233
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 伊斯曼柯达公司
变更后权利人 : 全球OLED科技有限责任公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国纽约州
变更后权利人 : 美国特拉华州
登记生效日 : 20100421
2007-12-05 ：
实质审查的生效
2007-10-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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