工件表面电化学加工期间清除残存空气的方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明提供了基片电化学加工期间清除残存空气的方法和系统，其中，具有液体开口(520)的硬板(500)可使生产溶液(505)在基片(503)的正面(510)与电极(506)之间流动。硬板(500)包括有一个突出区域(524)，工作时，突出区域上能生成一个凸起的溶液表面(526)，在基片(503)全然浸没在溶液(505)之前能与晶圆的正面(510)接触。
基本信息
专利标题 ：
工件表面电化学加工期间清除残存空气的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101056718A
申请号 ：
CN200580038413.8
公开（公告）日 ：
2007-10-17
申请日 ：
2005-11-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
杰弗里·博加特布伦特·M·巴绍尔
申请人 ：
诺发系统有限公司
申请人地址 ：
美国亚利桑那州
代理机构 ：
上海新天专利代理有限公司
代理人 ：
张静洁
优先权 ：
CN200580038413.8
主分类号 ：
B08B7/00
IPC分类号 ：
B08B7/00 C25D17/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B7/00
不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法
法律状态
2010-08-25 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101006990295
IPC(主分类) : B08B 7/00
专利申请号 : 2005800384138
公开日 : 20071017
号牌文件序号 : 101006990295
IPC(主分类) : B08B 7/00
专利申请号 : 2005800384138
公开日 : 20071017
2007-12-12 ：
实质审查的生效
2007-10-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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