大尺度线栅偏振器的应用和制造技术

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

通过在薄膜衬底上形成具有预定周期Λ的多根基本上直的金属线，可以制造线栅偏振器。在衬底的表面上形成多个基本上直的纳米级周期性表面浮雕结构。所述周期性表面浮雕结构覆盖长度大于约4厘米并且宽度大于约4厘米的区域，其中周期Λ在约10纳米和约500纳米之间。在所述周期性表面浮雕结构上形成一个或多个材料层。所述一个或多个层包含一种或多种导电材料，所述导电材料在长度大于约4厘米并且宽度大于约4厘米的所述衬底区域上形成所述多根基本上直的金属线。

基本信息

专利标题：

大尺度线栅偏振器的应用和制造技术

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101437980A

申请号：

CN200580041124.3

公开（公告）日：

2009-05-20

申请日：

2005-11-28

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

迈克尔·J·利特尔查尔斯·W·麦克劳克林

申请人：

阿古拉科技公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

王旭

优先权：

CN200580041124.3

主分类号：

C23F1/00

IPC分类号：

C23F1/00 B44C1/22