用于储存真空计校准参数及测量数据于真空计结构上的方法及装...
专利权的终止
摘要
一种用以借由组合离子化真空计与至少一其它的真空感测器来测量气体压力的方法及装置。耦接于真空计的非依电性记忆体含有依据工厂校准而定的各个个别感测器唯一的校准参数。该非依电性记忆体可含有用于一热敏真空感测器的校准参数,以补偿由该离子化真空计所产生的温度梯度。该等校准参数是当离子化真空计开启及关闭时所判断的校准数据的函数。该非依电性记忆体可储存该真空计的一视窗的测试数据,该非依电性记忆体更新于预定的时间间隔及回应于一诸如错误事件的事件,以协助调查真空计故障或失效的原因。
基本信息
专利标题 :
用于储存真空计校准参数及测量数据于真空计结构上的方法及装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN101084422A
申请号 :
CN200580042652.0
公开(公告)日 :
2007-12-05
申请日 :
2005-11-29
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
保罗·C·阿诺德赖利·K·卡麦可保罗·M·路特
申请人 :
布鲁克机械公司
申请人地址 :
美国麻州
代理机构 :
北京中原华和知识产权代理有限责任公司
代理人 :
寿宁
优先权 :
CN200580042652.0
主分类号 :
G01L21/10
IPC分类号 :
G01L21/10 G01L21/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L21/00
真空计
G01L21/10
通过测量介质热导率的变化而测出介质压力的
法律状态
2021-11-12 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G01L 21/10
申请日 : 20051129
授权公告日 : 20090909
终止日期 : 20201129
申请日 : 20051129
授权公告日 : 20090909
终止日期 : 20201129
2014-12-31 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101709284972
IPC(主分类) : G01L 21/10
专利号 : ZL2005800426520
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 布鲁克机械公司
变更后权利人 : MKS仪器公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国麻州
变更后权利人 : 美国马萨诸塞州安杜佛市
登记生效日 : 20141210
号牌文件序号 : 101709284972
IPC(主分类) : G01L 21/10
专利号 : ZL2005800426520
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 布鲁克机械公司
变更后权利人 : MKS仪器公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国麻州
变更后权利人 : 美国马萨诸塞州安杜佛市
登记生效日 : 20141210
2009-09-09 :
授权
2008-01-23 :
实质审查的生效
2007-12-05 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载