用于制造无源结构的烟雾状液体的空气动力学喷射
授权
摘要
涉及在物理、电性、化学、光学特性中的一个或多个中具有5％或更小偏差的无源结构的直接写入的方法和装置。本装置可以延长淀积时间。本装置可以配置为独立操作，并使用传感器和反馈环检测系统的物理特性以确定并维持最佳工艺参数。
基本信息
专利标题 ：
用于制造无源结构的烟雾状液体的空气动力学喷射
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101142677A
申请号 ：
CN200580042689.3
公开（公告）日 ：
2008-03-12
申请日 ：
2005-12-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
M·J·雷恩M·埃辛B·H·金J·A·保尔森
申请人 ：
奥普美克设计公司
申请人地址 ：
美国新墨西哥
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
王新华
优先权 ：
CN200580042689.3
主分类号 ：
H01L23/58
IPC分类号 ：
H01L23/58
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L23/00
半导体或其他固态器件的零部件
H01L23/58
其他组不包含的，用于半导体器件的电结构装置
法律状态
2010-06-09 ：
授权
2008-05-07 ：
实质审查的生效
2008-03-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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