用于使用连续过程形成薄膜太阳能电池的方法和设备
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明涉及用于制造光电装置的新方法和一种用于实践这些制造方法的设备。本发明使用一种转移通过系统以使工件衬底前进通过多个处理室组成的集成设备，所述多个处理室控制所述制造过程的每一者。
基本信息
专利标题 ：
用于使用连续过程形成薄膜太阳能电池的方法和设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101080511A
申请号 ：
CN200580043385.9
公开（公告）日 ：
2007-11-28
申请日 ：
2005-11-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
约翰·R·塔特尔
申请人 ：
德斯塔尔科技公司
申请人地址 ：
美国纽约州
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
王允方
优先权 ：
CN200580043385.9
主分类号 ：
C23C16/00
IPC分类号 ：
C23C16/00
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
法律状态
2011-11-30 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101223905455
IPC(主分类) : C23C 16/00
专利申请号 : 2005800433859
公开日 : 20071128
号牌文件序号 : 101223905455
IPC(主分类) : C23C 16/00
专利申请号 : 2005800433859
公开日 : 20071128
2008-01-23 ：
实质审查的生效
2007-11-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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