压阻应变集中器

专利权的终止

摘要

提供一种将机械移动转换为电输出的压阻应变集中器和用于生产该集中器的过程。该装置包括应变检测结构，该结构具有跨过基板中的间隙的压阻应变元件。该应变检测结构支承在同样跨过该间隙的应变集中结构上，该间隙具有延伸至间隙基部处的横截面的垂直壁，两个结构都由基板蚀刻而成。用于应变感应元件的应变集中支承结构通过深活性离子蚀刻(DRIE)制造。与先前的应变计量结构相比，该应变检测结构具有增强的敏感度、低计量因数并且更加能抵抗起皱和破碎。多个应变检测结构可在电桥电路中顺序连接。

基本信息

专利标题：

压阻应变集中器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101111751A

申请号：

CN200580047276.4

公开（公告）日：

2008-01-23

申请日：

2005-11-29

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

莱斯利·B·威尔纳

申请人：

恩德夫科公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

王冉

优先权：

CN200580047276.4

主分类号：

G01L9/16

IPC分类号：

G01L9/16