工件存放装置
专利权的终止
摘要
本发明的目的在于当利用空气使工件成为漂浮状态时使工件更加稳定地漂浮。本发明的工件存放装置利用由升降机构产生的升降动作使空气喷出机构进入存放盒内，利用空气喷出机构使从存放盒向外部搬出的工件漂浮，其特征在于，设有从空气喷出机构的上面突出且与处于漂浮状态的工件的下面抵接的衬垫。
基本信息
专利标题 ：
工件存放装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101273448A
申请号 ：
CN200580051667.3
公开（公告）日 ：
2008-09-24
申请日 ：
2005-09-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
藤吉诚
申请人 ：
平田机工株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
何腾云
优先权 ：
CN200580051667.3
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 B65G49/06
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2014-11-26 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101588949541
IPC(主分类) : H01L 21/677
专利号 : ZL2005800516673
申请日 : 20050929
授权公告日 : 20100512
终止日期 : 20130929
号牌文件序号 : 101588949541
IPC(主分类) : H01L 21/677
专利号 : ZL2005800516673
申请日 : 20050929
授权公告日 : 20100512
终止日期 : 20130929
2010-05-12 ：
授权
2008-11-19 ：
实质审查的生效
2008-09-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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