蚀刻方法、程序、记录介质和等离子体处理装置
专利权的终止
摘要
本发明涉及一种蚀刻方法，当蚀刻具有涂布硅类绝缘膜的叠层绝缘膜时，抑制底膜的破损或劣化。将在氮化钛膜的底膜上叠层SOG膜和TEOS膜的基板(W)容纳在处理室(S)内，并支撑在基座(13)上。处理室(S)内维持为减压氛围，从上部电极(30)，将不含有O2气而含有C4F8气和N2气的蚀刻气体导入到处理室(S)内。通过高频电源将高频波施加在基座(13)上，将处理室(S)内的气体等离子体化，对基板(W)上的叠层膜进行蚀刻。
基本信息
专利标题 ：
蚀刻方法、程序、记录介质和等离子体处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1819122A
申请号 ：
CN200610001280.3
公开（公告）日 ：
2006-08-16
申请日 ：
2006-01-12
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
菊池秋广坂本雄一郎角田崇司
申请人 ：
东京毅力科创株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人 ：
龙淳
优先权 ：
CN200610001280.3
主分类号 ：
H01L21/311
IPC分类号 ：
H01L21/311 H01L21/768
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/02
半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21/04
至少具有一个跃变势垒或表面势垒的器件，例如PN结、耗尽层、载体集结层
H01L21/18
器件有由周期表Ⅳ族元素或含有/不含有杂质的AⅢBⅤ族化合物构成的半导体，如掺杂材料
H01L21/30
用H01L21/20至H01L21/26各组不包含的方法或设备处理半导体材料的
H01L21/31
在半导体材料上形成绝缘层的，例如用于掩膜的或应用光刻技术的；以及这些层的后处理；这些层的材料的选择
H01L21/3105
后处理
H01L21/311
绝缘层的刻蚀
法律状态
2017-03-01 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101706027334
IPC(主分类) : H01L 21/311
专利号 : ZL2006100012803
申请日 : 20060112
授权公告日 : 20090701
终止日期 : 20160112
号牌文件序号 : 101706027334
IPC(主分类) : H01L 21/311
专利号 : ZL2006100012803
申请日 : 20060112
授权公告日 : 20090701
终止日期 : 20160112
2009-07-01 ：
授权
2006-10-11 ：
实质审查的生效
2006-08-16 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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