薄膜晶体管、有机电致发光显示元件及其制造方法

专利权的终止

摘要

一种薄膜晶体管的制造方法，其包含下列步骤：首先，于基板上形成栅极；之后，于基板上形成栅绝缘层，以覆盖此栅极；接着，于栅绝缘层上形成源极/漏极层，此源极/漏极层暴露出栅极上方之部分的栅绝缘层；继之，于源极/漏极层上形成绝缘层，此绝缘层具有开口，以暴露出栅极上方之部分的栅绝缘层与部分的源极/漏极层；最后，于绝缘层之开口中形成通道层，使通道层与源极/漏极层电连接，且通道层由上述开口中暴露出来。

基本信息

专利标题：

薄膜晶体管、有机电致发光显示元件及其制造方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101017782A

申请号：

CN200610003073.1

公开（公告）日：

2007-08-15

申请日：

2006-02-08

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

胡堂祥王怡凯颜精一林宗贤何家充

申请人：

财团法人工业技术研究院

申请人地址：

台湾省新竹县竹东镇中兴路四段195号

代理机构：

北京连和连知识产权代理有限公司

代理人：

包红健

优先权：

CN200610003073.1

主分类号：

H01L21/336

IPC分类号：

H01L21/336 H01L21/84 H01L29/786 H01L27/32