离心干燥装置

专利权的终止

摘要

本发明提供减小振动且防止被处理物的损坏，同时能够提高被处理物的干燥处理能力的离心干燥装置。所述装置包括：收容于容器内并绕转轴(12)旋转的转台(13)；在转台上关于转轴对称的位置以等角度间隔设置的盛放基板(18)的2对支撑架(15A)和(15B)以及支撑架(16A)和(16B)；在容器外侧下方与支撑架(15A)和(15B)对应设置的、具有能够向与转轴正交方向移动的砝码(33)的上段平衡机构部(27A)以及下段平衡机构部(27B)；在容器外侧下方与支撑架(16A)和(16B)对应设置的、具有能够向与转轴正交方向移动的砝码(38)的上段平衡机构部(28A)以及下段平衡机构部(28B)；通过转台的旋转，对支撑架上盛放的基板进行干燥处理。

基本信息

专利标题：

离心干燥装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1828206A

申请号：

CN200610003119.X

公开（公告）日：

2006-09-06

申请日：

2006-02-14

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

冈田晶大关亮山本晃央岩渊稔

申请人：

恩益禧电子股份有限公司;株式会社华祥;株式会社动力

申请人地址：

日本神奈川县

代理机构：

北京润平知识产权代理有限公司

代理人：

周建秋

优先权：

CN200610003119.X

主分类号：

F26B5/08

IPC分类号：

F26B5/08 H01L21/304

IPC结构图谱

F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破

F26

干燥

F26B

从固体材料或制品中消除液体的干燥

F26B

从固体材料或制品中消除液体的干燥

F26B5/00

不需要使用加热方法干燥固体材料或制品

F26B5/08

用离心处理

法律状态

2015-04-01 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101604304029
IPC(主分类) : F26B 5/08
专利号 : ZL200610003119X
申请日 : 20060214
授权公告日 : 20100609
终止日期 : 20140214

2010-09-15 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101007710910
IPC(主分类) : F26B 5/08
专利号 : ZL200610003119X
变更事项 : 专利权人
变更前 : 恩益禧电子股份有限公司
变更后 : 瑞萨电子株式会社
变更事项 : 地址
变更前 : 日本神奈川县
变更后 : 日本神奈川县

2010-06-09 ：

授权

2008-05-07 ：

专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)

变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 恩益禧电子股份有限公司
变更后权利人 : 恩益禧电子股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 日本神奈川县
变更后权利人 : 日本神奈川县
登记生效日 : 20080411
变更事项 : 共同申请人
变更前权利人 : 株式会社华祥;株式会社动力
变更后权利人 : 无

2008-04-30 ：

实质审查的生效

2006-09-06 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

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2、

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