平台装置
授权
摘要
本发明对于依据激光测长器的测量结果进行位置控制的平台装置，可实现Abbe误差少的平台装置。在移动平台(10)上设有工件保持平台(22)，载置有工件(30)。在移动平台(10)中内置有激光测长器(42)，且，在移动平台(10)的侧面安装有激光反射单元(44)，使从激光出射入射口(43)出射入射的激光的光轴，移动到工件保持平台(22)的表面的位置为止。镜(41)设置于与工件保持平台(22)相对的位置，激光由全反射镜(45a)及全反射镜(45b)反射，入射至被设在与全反射镜(45b)相对的位置上的镜(41)。被镜(41)反射的激光由全反射镜(45b)及全反射镜(45a)反射，并入射至激光测长器(42)。
基本信息
专利标题 ：
平台装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1808625A
申请号 ：
CN200610004947.5
公开（公告）日 ：
2006-07-26
申请日 ：
2006-01-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
佐野直人
申请人 ：
优志旺电机株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
胡建新
优先权 ：
CN200610004947.5
主分类号 ：
G12B5/00
IPC分类号 ：
G12B5/00 G01N21/956 G03F9/00 H01L21/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G12
仪器的结构零部件，或未列入其他类目的其他设备的类似零部件
G12B
仪器的零部件，或未列入其他类目的其他设备的类似零部件
G12B5/00
仪器或其他设备或其部件的位置或状态的调整，例如，水平调整；倾斜或加速影响的补偿，例如，用于光学仪器的
法律状态
2010-09-22 ：
授权
2007-11-28 ：
实质审查的生效
2006-07-26 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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