本发明公开了一种耐活性氧腐蚀的新型平面线阵辐射加热器，它包括：加热丝支撑盘、加热丝和金属箔电极，加热丝支撑盘上分布有具一定几何排布规律绕线孔阵列，加热丝按照一定绕线规则穿过绕线孔阵列绕至支撑盘上，在支撑盘两端边缘对称分布有两个接线柱插孔，加热丝端线在此与金属箔电极相连形成良好电接触。本发明能提供高于800℃加热温度，且温场均匀。与传统加热丝型加热器相比，由于采用合理几何设计，具有最少的部件，使用及维护成本很低；与商用石墨体加热器相比，使用寿命长，且无碳污染，因此非常适宜氧化物薄膜的生长。